Occupant le sud de la province de Lorraine et quelques communes de Champagne et de Franche-Comté, le département des Vosges fut l'un des 83 départements créés à la Révolution française le 4 mars 1790, en application de la loi du 22 décembre 1789.

En 1793, la principauté de Salm, enclave étrangère centrée à Senones, opta pour son rattachement à la France après le départ de ses princes. En 1795, la région de Schirmeck, d'abord incluse dans le Bas-Rhin, fut rattachée aux Vosges.

En 1871, par le traité de Francfort, l'Allemagne annexa une petite partie des Vosges : le canton de Schirmeck et la moitié du canton de Saales, qui font depuis partie de l'Alsace. Les communes du canton de Saales restées françaises formèrent un nouveau canton, avec Provenchères-sur-Fave comme chef-lieu. Les territoires ainsi perdus furent rendus à la France par le traité de Versailles en 1919, mais restèrent alsaciens, rattachés au Bas-Rhin.